SORTER分片機

• 晶圓搬送支援8″/12″ Wafer
• Load port : 8/12共用功能
• Robot : single/dual arm
• 減少人工作業、搬運錯誤及人員接觸汙染
• 高潔淨→提升良率
• 高精度→降低錯誤
• 高可靠度→提升稼動率